基本信息
| 标准名称： | 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
| 英文名称： | Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 冶金 >> 金属材料试验 >> 金属材料化学分析 |
| 替代情况： | 被GB/T 8758-2006代替 |
| 发布部门： | 国家标准局 |
| 发布日期： | 1988-02-25 |
| 实施日期： | 1989-02-01 |
| 首发日期： | 1988-02-25 |
| 作废日期： | 2006-11-01 |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 5页 |
适用范围
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
前言
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 冶金 金属材料试验 金属材料化学分析